XNY-EBGG电子枪集成高压控制柜

EB Gun & HV Controller

产品特点：

☆ 集  成  化：可嵌入当前流行的各类晶控仪（SQC310、IC6、膜林MXC等）和光学膜厚仪（XNY产），以及各种复合真空计压强控制仪（XNY产）

☆ 智  能  化：在增加上述部件后，再加入触摸屏，能够实现控制全自动、使其操作智能化人性化。

☆现场连接及拆装简便：本产品均采用快速航空接插件，让用户能够快速******地进行连接和拆装。线号标记清晰，方便用户及厂家进行改动。

主要性能及技术指标：

1、恒电压特性

通过负载电压反馈，使负载电压既可随控制信号进行调节，又可保持恒定。当电网电压发生波动或负载阻抗发生变化时，在调功器输出电压有充分余量的前提下，恒压稳定度±1%。用户在使用恒压功能时，要将负载要求的******恒定负载电压与装置输出的******电压间留有充分的余量，以防在电网电压降低时，调节器进入非线性区，不能维持电压恒定。

2、恒电流特性

通过负载电流反馈，使负载电流既可随控制信号进行调节，又可保持恒定。当电网电压发生波动或负载阻抗发生变化时，在调功器输出电压有充分余量的前提下，恒流稳定度±1%。用户在使用恒流功能时，要将负载要求的******负载电流下，所对应的装置输出的******电压间留有充分的余量，以防在电网电压降低时，调节器进入非线性区，不能维持电压恒定。

3、限流特性

当输出电流大于额定值的105%时，限流环节动作，使输出电流限制在额定值左右，反应时间约200ms。

4、过流保护特性

当输出电流大于额定值的180%时，过流环节在检测到过流信号后，半个周波时间（10ms）内自动截止输出并报警。

5、软启动、软关断特性

当电源投入合闸或RQD对GND接通时，输出电压不是跃变增加，而是经过0-15s时间缓慢增加（软启动）。当控制信号断开或RQD对GND断开是，输出电压不是突变为零，而是缓慢线性的减少到零（软关断）。这个功能对于变压器一次侧控制、感性负载的控制、大容量负载的通断控制是很重要的。这对于防止过大冲击电流对装置电路SCR的保护十分有利。